潔凈廠房電氣設(shè)計規(guī)范，潔凈廠房低壓配電設(shè)計應(yīng)采用220/380V。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的形式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地的形式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。

潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求應(yīng)按現(xiàn)行標(biāo)準《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定和生產(chǎn)工藝要求確定。主要生產(chǎn)工藝設(shè)備應(yīng)由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電，有特殊要求的工作電源宜設(shè)置不間斷電源(UPS)。凈化空調(diào)系統(tǒng)用電負荷、照明負荷應(yīng)由變電所專線供電。

潔凈廠房消防用電設(shè)備的供配電設(shè)計應(yīng)按現(xiàn)行標(biāo)準《建筑防火設(shè)計規(guī)范》有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。電源進線應(yīng)設(shè)置切斷裝置，并宜設(shè)在潔凈區(qū)外便于管理的地點。

潔凈室內(nèi)的配電設(shè)備應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型暗裝設(shè)備，不宜設(shè)置大型落地安裝的配電設(shè)備。

潔凈室內(nèi)的電氣管線宜暗敷，穿線導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈區(qū)的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)有可靠的密封措施。

條文說明
9.1 配電
9.1.1 潔凈廠房內(nèi)有較多的電子設(shè)備系單相負荷，存在不平衡電流。而且環(huán)境中有熒光燈、晶體管、數(shù)據(jù)處理以及其他非線性負荷存在，配電線路中存在高次諧波電流，致使中性線上流有較大的電流。而TN-S或TN-C-S接地系統(tǒng)中有專用不帶電的保護接地線(PE)，因此安全性好。
9.1.2 在潔凈廠房中，工藝設(shè)備用電的負荷等級應(yīng)由它對供電可靠性的要求來確定。同時，它又與為凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行的用電負荷，如送風(fēng)機、回風(fēng)機、排風(fēng)機等有密切的聯(lián)系。對這些用電設(shè)備的可靠供電是保證生產(chǎn)的前提。在確定供電可靠性方面，下列幾個因素應(yīng)予以考慮：

(1) 潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，新技術(shù)、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，產(chǎn)品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。

(2) 潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。因此，必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運行。據(jù)了解，在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10％～30％。一旦停電，室內(nèi)空氣會很快污染，影響產(chǎn)品質(zhì)量。

(3) 潔凈廠房是個相對的密閉體，由于停電造成送風(fēng)中斷，室內(nèi)的新鮮空氣得不到補充，有害氣體不能排出，對工作人員的健康是不利的。

潔凈廠房內(nèi)對供電有特殊要求的用電設(shè)備宜設(shè)置不間斷電源(UPS)供電。對供電有特殊要求的用電設(shè)備是指采用備用電源自動投入方式或柴油發(fā)電機組應(yīng)急自啟動方式仍不能滿足要求者，一般穩(wěn)壓穩(wěn)頻設(shè)備不能滿足要求者，計算機實時控制系統(tǒng)和通信網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控系統(tǒng)等。

近年來，國內(nèi)外一些潔凈廠房中一級用電負荷因雷擊及電源瞬時變動而引起停電事故頻繁發(fā)生，造成了較大的經(jīng)濟損失，其原因不是主電源斷電，而是控制電源失電造成保護系統(tǒng)失靈而造成事故。

電氣照明在潔凈廠房設(shè)計中也很重要。從工藝性質(zhì)來看，潔凈廠房內(nèi)一般從事精密視覺工作，需要高照度高質(zhì)量照明。為了獲得良好和穩(wěn)定的照明條件，除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問題外，最重要的是保證供電電源的可靠性和穩(wěn)定性。

潔凈廠房照明電源直接由變電所低壓照明盤專線供電，把它與動力供電線分開，避免引起照明電源電壓頻繁的和較大的波動，同時增加供電的可靠性。根據(jù)對熒光燈供電電壓與照度關(guān)系的現(xiàn)場測定，電壓由226V降到208V時，相應(yīng)的照度由530lx降到435lx，可見，電壓波動對熒光燈的照度影響較大。

鑒于原因，潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)用電負荷、照明負荷應(yīng)由專用低壓饋電線路供電。
9.1.3 消防用電設(shè)備供配電設(shè)計有嚴格要求，這些要求已在現(xiàn)行標(biāo)準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016中作了明確規(guī)定。潔凈廠房從工程投資規(guī)模和廠房的密封結(jié)構(gòu)等方面考慮，防火設(shè)計更顯重要，故把消防用電
設(shè)備的供配電設(shè)計作為單獨一條提出。
9.1.4 從調(diào)研資料表明，潔凈廠房曾發(fā)生過多次事故，而電氣原因引起的火災(zāi)事故占很大比例。為了防止?jié)崈魪S房或單獨潔凈室在節(jié)假日停止工作或無人值班時的電氣火，以及當(dāng)火發(fā)生時便于可靠地切斷電源，所以電源進線保護應(yīng)設(shè)置切斷裝置。

為了方便管理，切斷裝置宜設(shè)在非潔凈區(qū)便于操作的地點。
9.1.5 據(jù)調(diào)查，國內(nèi)大部分潔凈室內(nèi)的配電設(shè)備為暗裝，這主要是防止積塵，便于清掃。另外，潔凈室建筑裝修標(biāo)準比較高，應(yīng)與室內(nèi)墻體顏色、美觀整齊相協(xié)調(diào)。對于大型配電設(shè)備，如落地式動力配電箱，暗裝比較困難，為了減少積塵，宜放在非潔凈區(qū)，如技術(shù)夾層或技術(shù)夾道等。
9.1.6 管線暗敷原因見

9.1.5條的條文說明。
考慮防火要求，管材應(yīng)采用不燃材料。
當(dāng)凈化空調(diào)系統(tǒng)停止運行，該系統(tǒng)又未設(shè)值班送風(fēng)時，為防止由于壓差而使塵粒通過管線空隙滲入潔凈室，所以由非潔凈區(qū)進入潔凈區(qū)，不同級別潔凈室之間電氣管線口應(yīng)做密封處理。
9.2 照明
9.2.1 潔凈室內(nèi)照明光源宜采用高效熒光燈。若工藝有特殊要求或照度值達不到設(shè)計要求時，可采用其他形式光源。
9.2.2 潔凈室內(nèi)一般照明燈具應(yīng)為吸頂明裝。當(dāng)燈具嵌入頂棚暗裝時，安裝縫隙應(yīng)有可靠的密封措施。潔凈室應(yīng)采用潔凈室專用燈具。
9.2.3 無采光窗的潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)用房間一般照明的照度標(biāo)準值宜為200lx～500lx，輔助用房、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等宜為150lx～300lx。
9.2.4 潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。
9.2.5 潔凈廠房內(nèi)備用照明的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置備用照明。
2 備用照明宜作為正常照明的一部分。
3 備用照明應(yīng)滿足所需場所或部位進行必要活動和操作的最低照度。
9.2.6 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)按現(xiàn)行標(biāo)準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定設(shè)置疏散標(biāo)志。在專用消防口處應(yīng)設(shè)置疏散標(biāo)志。
9.2.7 潔凈廠房中有爆炸危險的房間的照明燈具和電氣線路的設(shè)計，應(yīng)符合現(xiàn)行標(biāo)準《爆炸和火危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

條文說明
9.2 照明
9.2.1 潔凈室的照明一般要求照度高，但燈具安裝的數(shù)量受到送風(fēng)風(fēng)口數(shù)量和位置等條件的限制，這就要求在達到同一照度值情況下，安裝燈具的個數(shù)最少。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍～4倍，而且發(fā)熱量小，有利于空調(diào)節(jié)能。此外，潔凈室天然采光少，在選用光源時還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光，熒光燈基本能滿足這一要求。因此，目前國內(nèi)外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當(dāng)有些潔凈室層高較高，采用一般熒光燈照明很難達到設(shè)計照度值，在此情況下，可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生產(chǎn)工藝對光源光色有特殊要求，或熒光燈對生產(chǎn)工藝和測試設(shè)備有干擾時，也可采用其他形式光源。
9.2.2 照明燈具的安裝方式是潔凈室照明設(shè)計的重要課題之一。隨著潔凈技術(shù)的發(fā)展，普遍認為要保持潔凈室內(nèi)的潔凈度關(guān)鍵有三個要素：
(1) 使用合適的高效過濾器。
(2) 解決好氣流流型，維持室內(nèi)外壓差。
(3) 保持室內(nèi)免受污染。
因此，能否保持潔凈度主要取決于凈化空調(diào)系統(tǒng)及選用的設(shè)備，當(dāng)然也要消除工作人員及其他物體的塵源。眾所周知，照明燈具并不是主要塵源，但如果安裝不妥，將會通過燈具縫隙滲入塵粒。實踐證明，燈具嵌入頂棚暗裝，在施工中往往與建筑配合誤差較大，造成密封不嚴，不能達到預(yù)期效果，而且投資大，發(fā)光效率低。實踐和測試結(jié)果表明，在非單向流潔凈室中，照明燈具明裝并不會使?jié)崈舳鹊燃売兴陆怠?/p>

鑒于以上原因，在潔凈室中燈具安裝應(yīng)以吸頂明裝為好。但是若燈具安裝受到層高限制及工藝特殊要求暗裝時，一定要做好密封處理，以防塵粒滲入潔凈室，燈具結(jié)構(gòu)能便于清掃和更換燈管。
據(jù)調(diào)查，目前國內(nèi)已有包括帶格柵的各種類型潔凈室專用燈具生產(chǎn)，本條取消了相關(guān)燈具形式的限制性規(guī)定，并明確應(yīng)采用清凈室專用燈具。潔凈室的燈具及其安裝方式對維持空氣潔凈度至關(guān)重要，為此，本條為強制性條文。
9.2.3 本條中的無采光窗潔凈室（區(qū)）是指在建筑物的圍護結(jié)構(gòu)上不設(shè)置窗，或有窗而被全部遮擋，或窗面積很小起不到采光窗作用的潔凈廠房。參照現(xiàn)行標(biāo)準《建筑照明設(shè)計標(biāo)準》GB50034-2004中的有關(guān)規(guī)定對本條進行了修改，表11是摘錄該標(biāo)準的部分相關(guān)內(nèi)容。
表11中的電子工業(yè)、制藥工業(yè)、精密加工、食品工業(yè)等的照度值均在本條規(guī)定的200lx～500lx范圍。本次修訂本條改為推薦性條文。
9.2.4 根據(jù)對現(xiàn)有潔凈廠房的照明調(diào)查，一般生產(chǎn)車間的照度均勻度都能達到0.7。經(jīng)征求使用者意見，認為比值能滿足要求。
9.2.5 潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅，不能進行必要的操作處置可能導(dǎo)致生產(chǎn)流程混亂，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進行必要的操作處置而可能引起火、爆炸和中等事故，本條規(guī)定應(yīng)設(shè)置備用照明，以防止上述事故和情況發(fā)生。
備用照明應(yīng)滿足所需要的場所或部位進行各項活動和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應(yīng)低于正常照明照度標(biāo)準的1/1*。消防控制室、應(yīng)急發(fā)電機室、配電室及電話機房等房間的主要工作面上，備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復(fù)設(shè)置，節(jié)省投資，并對提高潔凈室的潔凈度有利，備用照明宜作為正常照明的一部分。
9.2.6 潔凈廠房是一個相對的密閉體，室內(nèi)人員流動路線復(fù)雜，出入通道迂回，為便于事故情況下人員的疏散，及火時能，所以潔凈廠房應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。
在安全出口、疏散口和疏散通道轉(zhuǎn)角處設(shè)置標(biāo)志燈以便于疏散人員辨認通行方向，迅速撤離事故現(xiàn)場。在專用消防口設(shè)紅色應(yīng)急燈，以便于消防人員及時進入廠房進行滅火。本條為強制性條文。
9.2.7 據(jù)調(diào)查，近年設(shè)計、建造的各類潔凈廠房中均設(shè)有面積不等的有爆炸危險的房間，如可燃氣體分配間、可燃液體（溶劑等）的儲存分配間等，為此本次修訂增加本條規(guī)定。
9.3 通信
9.3.1 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置與廠房內(nèi)、外聯(lián)系的通信裝置。潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)區(qū)與其他工段的聯(lián)系宜設(shè)生產(chǎn)對講電話。
9.3.2 潔凈廠房根據(jù)生產(chǎn)管理和生產(chǎn)工藝特殊需要，宜設(shè)置閉路電視監(jiān)視系統(tǒng)。
9.3.3 潔凈廠房的生產(chǎn)層、技術(shù)夾層、機房、站房等均應(yīng)設(shè)置火報警探測器。潔凈廠房生產(chǎn)區(qū)及走廊應(yīng)設(shè)置手動火災(zāi)報警按鈕。
9.3.4 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置消防值班室或控制室，并不應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)內(nèi)。消防值班室應(yīng)設(shè)置消防專用電話總機。
9.3.5 潔凈廠房的消防控制設(shè)備及線路連接應(yīng)可靠?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行標(biāo)準《火自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定。潔凈區(qū)內(nèi)火報警應(yīng)進行核實，并應(yīng)進行下列消防聯(lián)動控制：
1 應(yīng)啟動室內(nèi)消防水泵，接收其反饋信號。除自動控制外，還應(yīng)在消防控制室設(shè)置手動直接控制裝置。
2 應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火閥，停止相應(yīng)的空調(diào)循環(huán)風(fēng)機、排風(fēng)機及新風(fēng)機，并應(yīng)接收其反饋信號。
3 應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火門、防火卷簾門。
4 應(yīng)控制備用應(yīng)急照明燈和疏散標(biāo)志燈燃亮。
5 在消防控制室或低壓配電室，應(yīng)手動切斷有關(guān)部位的非消防電源。
6 應(yīng)啟動火災(zāi)應(yīng)急擴音機，進行人工或自動播音。
7 應(yīng)控制電梯降至首層，并接收其反饋信號。
9.3.6 潔凈廠房中易燃、易爆氣體、液體的貯存和使用場所及入口室或分配室應(yīng)設(shè)可燃氣體探測器。有毒氣體、液體的貯存和使用場所應(yīng)設(shè)氣體檢測器。報警信號應(yīng)聯(lián)動啟動或手動啟動相應(yīng)的事故排風(fēng)機，并應(yīng)將報警信號送至消防控制室。

條文說明
9.3 通信
9.3.1 潔凈廠房設(shè)置的電話、對講電話等是與內(nèi)、外部聯(lián)系的裝置，有如下作用：
(1) 作為正常的工作聯(lián)系。
(2) 發(fā)生火災(zāi)時與外部聯(lián)系，積極采取有效的滅火措施。
(3) 潔凈室內(nèi)的工作人員是一個重要的塵源，人走動時的發(fā)塵量是靜止時的5倍～10倍，所以減少人員在潔凈室內(nèi)的走動，對保證潔凈度有很重要的作用。
9.3.3 潔凈廠房廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造及科研各個行業(yè)中，其重要性越來越多地被人們所認識。新建和改建的潔凈廠房數(shù)量不斷增加，大多數(shù)潔凈廠房內(nèi)設(shè)有貴重設(shè)備、儀器，且建造費用昂貴，一旦著火損失巨大。同時潔凈廠房內(nèi)人員進出迂回曲折，人員疏散比較困難，火情不易被外部發(fā)現(xiàn)，消防人員難以接近，防火有一定困難，因此設(shè)置火災(zāi)自動報警裝置十分重要。

對近年設(shè)計、建成的25個潔凈廠房的調(diào)查中，有約90％以上的潔凈廠房裝有火災(zāi)自動報警裝置，這是由于本規(guī)范頒布實施以來潔凈廠房裝設(shè)火報警裝置已得到各方面的重視和認同，消防意識不斷提高，隨著產(chǎn)品質(zhì)量提高、價格合理，各種形式的報警裝置正得到廣泛應(yīng)用，因此作了本條的強制性規(guī)定。
目前我國生產(chǎn)的火災(zāi)報警探測器的種類較多，常用的有感煙式、紫外線感光式、紅外線感光式、定溫感溫式、差定溫復(fù)合式等。
9.3.4 本條規(guī)定的潔凈廠房中應(yīng)設(shè)置消防值班室或控制室是確保各類消防系統(tǒng)正常運行和及時對發(fā)生的各類火情等組織撲救的關(guān)鍵手段，故作為強制性條文規(guī)定。
9.3.5 本條規(guī)定探測器報警后，強調(diào)人工核實和控制，當(dāng)確認是真正發(fā)生火后，按規(guī)定設(shè)置的聯(lián)動控制設(shè)備進行操作并反饋信號，目的是減少損失。因為潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)要求與普通廠房不同，對于潔凈度要求嚴格的廠房，若一旦關(guān)斷凈化空調(diào)系統(tǒng)即使再恢復(fù)也會影響潔凈度，使之達不到工藝生產(chǎn)要求而造成損失。為此本條作了強制性規(guī)定。
9.3.6 由于各類潔凈廠房中，不僅使用易燃、易爆氣體和有毒氣體，有的潔凈廠房還使用易燃、易爆液體和有毒液體等，所以本條將條文中除“氣體”外增加“液體”。通常易燃、易爆液體泄漏后，可揮發(fā)為液體蒸氣或相變?yōu)闅鈶B(tài)，可通過氣體或液體蒸氣進行檢測報警；某些液體可能泄漏后不會很快揮發(fā)，此時應(yīng)設(shè)置液體泄漏探測器等。本條為強制性條文。
9.4 自動控制
9.4.1 潔凈廠房宜設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)等的自動監(jiān)控裝置。
9.4.2 潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)宜選用變頻調(diào)速控制的風(fēng)機。
9.4.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的電加熱器應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫斷電保護裝置。當(dāng)采用電加濕器時，應(yīng)設(shè)置無水保護裝置。

條文說明
9.4 自動控制
9.4.1 潔凈廠房設(shè)置一套較完整的自動監(jiān)控裝置，對確保潔凈廠房的正常生產(chǎn)和提高運行管理水平十分有利，但建設(shè)投資增加。各類潔凈廠房內(nèi)包括潔凈室空氣潔凈度、溫度和濕度的監(jiān)控，潔凈室的壓差監(jiān)控，高純氣體、純水的監(jiān)控，氣體純度、純水水質(zhì)的監(jiān)測等的要求是不同的，并且各行各業(yè)的潔凈室（區(qū)）的規(guī)模、面積也是不同的，所以自動監(jiān)控裝置的功能應(yīng)視工程具體情況確定，宜設(shè)計成各種類型的監(jiān)測、控制系統(tǒng)，只有相當(dāng)規(guī)模的潔凈廠房宜設(shè)計成集散式計算機控制和管理系統(tǒng)。為此本次修訂將本條改為推薦性條文。
9.4.2 凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風(fēng)風(fēng)量，經(jīng)常手動調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的風(fēng)閥，以增加風(fēng)量，調(diào)整很麻煩；在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)調(diào)試中，系統(tǒng)啟動時為使風(fēng)機空載啟動，首先將風(fēng)機出口處風(fēng)閥關(guān)閉，風(fēng)機啟動后，由于風(fēng)閥上承受壓力很大，打開十分困難。當(dāng)采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風(fēng)機的變頻調(diào)速裝置后，送風(fēng)量的調(diào)節(jié)變得十分容易，送風(fēng)壓力穩(wěn)定。同時潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機采用變頻調(diào)速后節(jié)能十分顯著。
9.4.3 為避免凈化空調(diào)系統(tǒng)因風(fēng)機停轉(zhuǎn)無風(fēng)或超溫時，電加熱器繼續(xù)送電加熱會造成設(shè)備損壞甚至發(fā)生火，本條強制性規(guī)定應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫斷電等保護裝置。
9.5 靜電防護及接地9.5.1 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)要求采取靜電防護措施。
9.5.2 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的防靜電地面，其性能應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能，并應(yīng)保持長時間性能穩(wěn)定。
2 地面的面層應(yīng)采用靜電耗散性的材料，其表面電阻率應(yīng)為1.0×105Ω/□～1.0×1012Ω/□或體積電阻率為1.0×104Ω·cm～1.0×1011Ω·cm。
3 地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造，其對地泄放電阻值應(yīng)為1.0×105Ω～1.0×109Ω。
9.5.3 潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)采取防靜電接地措施。
9.5.4 潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火危險場所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行標(biāo)準《爆和火危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。
9.5.5 防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。
在防靜電接地系統(tǒng)各個連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω。
9.5.6 潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨絕緣敷設(shè)，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。
9.5.7 接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω：選擇分散接地方式時，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行標(biāo)準《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范》GB 50057的有關(guān)規(guī)定。

條文說明
9.5 靜電防護及接地
9.5.1 潔凈廠房的室內(nèi)環(huán)境中許多場合存在著靜電危害，從而導(dǎo)致電子器件、電子儀器和電子設(shè)備損壞或性能下降，或?qū)е氯梭w遭受電擊傷害，或?qū)е卤?、火危險場所引燃、引爆，或?qū)е聣m埃吸附影響環(huán)境潔凈度。因此，潔凈廠房工程設(shè)計中要十分重視防靜電環(huán)境設(shè)計。
9.5.2 防靜電地面材料采用具有導(dǎo)靜電性能的材料是防靜電環(huán)境設(shè)計的基本要求。目前國內(nèi)生產(chǎn)的防靜電材料及制品有長效型、短效型和中效型，長效型必須是長時間持久地保持靜電耗散性能，其時間界限為十年以上，而短效型能維持靜電耗散性能在三年以內(nèi)，介于三年以上和十年以下的為中效型。潔凈廠房一般為永久性建筑，因此條文強制性規(guī)定防靜電地面應(yīng)選用具有長時間保持穩(wěn)定靜電耗散性能的材料。

本條第2款和第3款中規(guī)定了防靜電地面的表面電阻率、體積電阻率和地面對地泄放電阻值，這些規(guī)定是參照現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準《電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測通用規(guī)范》SJ/T10694而制訂的。
9.5.3 由于各種用途的潔凈室對防靜電控制的要求是不同的，工程實踐表明，目前在一些潔凈廠房內(nèi)的凈化空調(diào)系統(tǒng)采取了防靜電接地措施，但也有一些潔凈廠房內(nèi)的凈化空調(diào)系統(tǒng)未采用此項措施，所以本次修訂改為推薦性條文。
9.5.4 潔凈廠房內(nèi)可能產(chǎn)生靜電的生產(chǎn)設(shè)備（包括防靜電安全工作臺）和容易產(chǎn)生靜電的流動液體、氣體或粉體的管道，應(yīng)采取防靜電接地措施，將靜電導(dǎo)除。當(dāng)這些設(shè)備與管道處在爆炸和火危險環(huán)境中時，設(shè)備和管道的連接安裝要求更加嚴格，以防發(fā)生嚴重災(zāi)害。因此，強調(diào)執(zhí)行現(xiàn)行國家標(biāo)準《爆炸和火危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的規(guī)定。本條為強制性條文。
9.5.5、9.5.6 這兩條修改的理由是：第一，各種用途的潔凈室（區(qū)）對防靜電控制的要求是不同的，有一些潔凈室（區(qū)）還沒有防靜電接地要求，所以條文不宜規(guī)定過嚴，避免增加執(zhí)行的難度；第二，原條文的一些規(guī)定過細；第三，條文中的一些內(nèi)容與相關(guān)的規(guī)范相同或相似。因此，兩條的內(nèi)容進行簡化，并改為推薦性條文。
9.5.7 為了解決好各個接地系統(tǒng)之間的相互關(guān)系，接地系統(tǒng)設(shè)計時，必須以防雷接地系統(tǒng)設(shè)計為基礎(chǔ)。由于在大多數(shù)情況下各種功能接地系統(tǒng)采用綜合接地方式，因此首先必須考慮防雷接地系統(tǒng)，使其他功能接地系統(tǒng)都應(yīng)包括在防雷接地系統(tǒng)的保護范圍之內(nèi)。本條規(guī)定潔凈廠房防雷接地系統(tǒng)的基本要求，涉及建造后的潔凈廠房的安全運行，為此作為強制性條文。