光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料與無(wú)塵車(chē)間凈化參數(shù)
光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料與無(wú)塵車(chē)間凈化參數(shù)
光學(xué)微電子凈化工程無(wú)塵車(chē)間之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。
光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料：
1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門(mén)、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3、送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4、高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。
光學(xué)微電子無(wú)塵車(chē)間凈化工程凈化參數(shù):
換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動(dòng)±2℃。
溫度45－65％；GMP粉劑車(chē)間濕度在50％左右為宜；電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。
光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室，目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來(lái)，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目，而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。
光學(xué)微電子凈化工程一般包括：
1、潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）
3、管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）
4、設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）
光學(xué)微電子凈化工程凈化原理：
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→高效凈化→風(fēng)淋室→FFU風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效送風(fēng)口凈化→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒→回風(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。
光學(xué)微電子凈化工程解決方案:
凈化工程的設(shè)計(jì)過(guò)程中，應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力，綜合各種因素來(lái)確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計(jì)出一個(gè)能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。
1、組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口這是一個(gè)傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如混合段、初效過(guò)濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過(guò)濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。
優(yōu)點(diǎn)：
A.空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過(guò)集中處理，在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精確;
B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;
C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨(dú)立冷熱源;
D.維修頻率較低;
E.車(chē)間的噪音低。缺點(diǎn)：
A.需要有配套的冷凍機(jī)房或有放置熱泵機(jī)組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機(jī)組的空調(diào)機(jī)房，如25000m3/h的組合式空氣處理機(jī)組，常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對(duì)于舊廠房改造項(xiàng)目來(lái)說(shuō)比較困難空出一個(gè)20-30m的機(jī)房的;
B.造價(jià)高。
特點(diǎn)：
A.建議新風(fēng)經(jīng)過(guò)集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);
C.這類(lèi)方案一般可以適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等較低的凈化無(wú)塵廠房。
2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口與前種方案比較，這是相對(duì)比較簡(jiǎn)單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房?jī)?nèi)或凈化車(chē)間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或在夾層內(nèi)。
優(yōu)點(diǎn)：
A.空氣處理效果較好的，處理過(guò)后的空氣在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制;
B.布置靈活。自帶冷源;
C.大小廠房、新舊廠房都適用;
D.維修頻率較低;
E.車(chē)間噪音低。
缺點(diǎn)：
A.需要小面積的機(jī)房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;
B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置;
C.造價(jià)較低。特點(diǎn)：這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據(jù)車(chē)間的大小情況而定;這類(lèi)方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等的凈化無(wú)塵廠房。
3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之分體空調(diào)柜機(jī)++FFU送風(fēng)口這是最簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車(chē)間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來(lái)，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng)); “梓凈”牌 風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車(chē)間。
優(yōu)點(diǎn)：
A.不需要占用機(jī)房面積，布置很靈活的;
B.可以滿足空氣的潔凈度;
C.造價(jià)最低。如此類(lèi)無(wú)塵車(chē)間初投資約需要40萬(wàn);
D.送風(fēng)均勻度好。
缺點(diǎn)：
A.溫濕度控制較差;
B.可以滿足空氣的潔凈度;
C.FFU的維修頻率高。
4、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之無(wú)塵車(chē)間的特點(diǎn)。
A、無(wú)塵車(chē)間的潔凈度:
LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
在本設(shè)計(jì)里是指末端工藝的一些無(wú)塵車(chē)間，其凈化潔凈度一般為千級(jí)或萬(wàn)級(jí)或十萬(wàn)級(jí)。背光屏類(lèi)無(wú)塵車(chē)間主要是這類(lèi)產(chǎn)品的沖壓車(chē)間、組裝等無(wú)塵車(chē)間，其潔凈度一般為萬(wàn)級(jí)或十萬(wàn)級(jí)。B、室內(nèi)空氣參數(shù)要求 ：
(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對(duì)濕度為55+5%。
(2)新風(fēng)量大。由于這類(lèi)車(chē)間內(nèi)，人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮 空氣量≥40m3/h。
(3)送風(fēng)量大。為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，就300平方米的車(chē)間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬(wàn)級(jí)，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級(jí)，送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥15次/h)。
光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析對(duì)于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來(lái)選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案，以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于要求高的可以選用組合式空氣處理機(jī)組集中處理的空調(diào)方案;對(duì)于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機(jī)+FFU。總之，具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。
光學(xué)微電子廠凈化工程裝修效果：
百級(jí)電子凈化車(chē)間換氣次數(shù)怎樣計(jì)算的問(wèn)題我們請(qǐng)教過(guò)相關(guān)的潔凈行業(yè)專業(yè)，他們說(shuō)其實(shí)百級(jí)電子潔凈室不是用換氣次數(shù)來(lái)說(shuō)，在高效空氣過(guò)濾器層流風(fēng)速達(dá)0.45M/S時(shí) 一般都是采用FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元滿布處理。
以上的高效空氣過(guò)濾器技術(shù)說(shuō)得對(duì),百級(jí)潔凈室的百級(jí)不是以換氣次數(shù)數(shù)的,但也不一定用FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元。
國(guó)內(nèi)一般都是這樣做的，但只是能做到百級(jí)潔凈室的局部百級(jí)。
百級(jí)潔凈室換氣次數(shù)設(shè)計(jì)規(guī)范沒(méi)要求，但有面風(fēng)速具體說(shuō)明，F(xiàn)FU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元或滿布高效過(guò)濾器均可。
不一定滿布吧，論壇有人說(shuō)滿布率８0%的案例也成功了。
當(dāng)然百級(jí)潔凈室最好能滿布，實(shí)在不行，至少也得有個(gè)90%以上，高效空氣過(guò)濾器風(fēng)速達(dá)到0.45以上就OK了！ 斷面風(fēng)速不宜過(guò)高。
一般是講送風(fēng)速度的，也不一定就用FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元，比如手術(shù)室的百級(jí)，用的就是2400*2600的層流送風(fēng)天花。
百級(jí)潔凈室若非得用換氣次數(shù)來(lái)衡量的話 200次/h以上。
